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针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题,设计了一种MEMS安全起爆芯片,包括Ni-Cr微加热器层、绝缘层、导线控制层.采用共聚焦显微镜......
期刊
MEMS technology
safety detonation chip
MEMS switch
Ni-Cr heater
performance test
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